FHA-C mini系列是具備高轉矩,提供精密旋轉動作的AC伺服執行元件。
是將超薄型、精密控制用減速裝置Harmonic Drive諧波減速機和超扁平AC伺服電動機融合成一體而形成的AC伺服執行元件。
· 薄型、小巧
· 中空結構
· 高轉矩、高剛性、高精度
· 內置剛性性能優異的支撐裝置
· 具有多種控制功能的控制單元也已系列化
[用途]
· 半導體制造設備 : 搬運機器人、檢查平臺
· 液晶制造設備 : 搬運機器人、檢查平臺
· 光產業相關裝置
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