半導體產業是國民經濟中基礎性、關鍵性和戰略性的產業。半導體檢測從設計驗證到最終測試都不可或缺,貫穿整個半導體制造過程,具有無法替代的重要地位。
半導體檢測設備的核心功能是用來檢測晶圓制造和芯片成品的質量,輔助降本、提高良率和增強客戶的訂單獲取能力。
半導體測試設備作用于集成電路全過程:
根據Gartner 數據顯示,2020 檢測設備全球市場規模約 131 億美元,中國半導體檢測設備市場規模 176 億元。
作為全球的集成電路市場,中國集成電路產業隨著5G、電動汽車等的快速發展持續增長,為半導體測試需求帶來增量空間。
2020-2021全球GDP和IC市場增量(%):
資料來源:IC Insights
廣義上的半導體檢測設備,分為前道量測(又稱半導體量測設備)和后道測試(又稱半導體測試設備)。
半導體設備占整線投資的80%左右;半導體檢測設備占半導體專用設備17%左右,其中前道量測設備占比8.5%左右,后道測試設備占比8.3%左右。
前道量檢測主要用于晶圓加工環節,目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產品的加工參數是否達到設計的要求或者存在影響良率的缺陷,屬于物理性的檢測。
后道測試設備主要是用在晶圓加工之后、封裝測試環節內,目的是檢查芯片的性能是否符合要求,屬于電性能的檢測。