新松機器人半導體裝備業務主要包括潔凈機器人系列產品、EFEM等，是國內首家潔凈機器人供應商，并已占據國內EFEM產品主導市場地位。
新松機器人的半導體裝備主要替代進口產品，其國外主要競爭對手如下。
A、布魯克斯
布魯克斯（Brooks Automation）總部位于美國，是自動化、真空設備與儀器儀表解決方案的全球領導廠商，業務覆蓋北美，歐洲及亞洲，其產品應用于半導體制造、生物科技、工藝設備制造以及綠色能源等多種產業。
B、電產三協
電產三協（Nidec Sankyo）總部位于日本，主要產品為馬達、馬達驅動組件等。工業機器人為其業務的一部分，其細分產品包括液晶玻璃基板搬運機器人、半導體芯片搬運機器人、真空環境對應機器人以及機器人控制器等。
