在線參數測試的4個主要子系統為：（1）探針卡接口:是自動測試儀與待測器件之間的接口。日本HD精密定位諧波CSF-32-50-2A-GR（2）硅片定位:為測試硅片，首先要確與探針接觸的硅片的探針儀位置。（3）測試儀器:集成電路需要能夠在測試結構上快速、準確、重復地測量亞微安級電流和微法級電容的自動測試設備，它控制測試過程（4）作為網絡主機或客戶機的計算機:日本HD精密定位諧波CSF-32-50-2A-GR導測試系統操作的計算機包括測試軟件算法、自動測試設備、用于硅片定位的探查控制軟件、測試數據的保存和控制、系統校準和故障診斷。

硅片揀選測試中的三種典型電學測試：（1）DC測試:電學測試是確保探針和壓焊點之日本HD精密定位諧波CSF-32-50-2A-GR間良好電學接觸的連接性檢查。這項檢查保證了技術員的測試儀安裝正常。